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牛津仪器 等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)PlasmaPro 800

产品简介:

PlasmaPro 800为大批量和300毫米晶圆的等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺提供了一种灵活的解决方案,占地面积小,开放式装载系统。大型的晶圆压盘允许生产规模的批量加工和300毫米晶圆处理。PlasmaPro 800具有460mm直径的工作台,拥有处理整片的300mm晶圆或大批量4...

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详细介绍
PlasmaPro 800为大批量和300毫米晶圆的等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺提供了一种灵活的解决方案,占地面积小,开放式装载系统。大型的晶圆压盘允许生产规模的批量加工和300毫米晶圆处理。PlasmaPro 800具有460mm直径的工作台,拥有处理整片的300mm晶圆或大批量43 x 50mm(2”)晶圆的能力, 可提供全套量产解决方案。PlasmaPro 800是公认的市场前列产品。

  • 高性能工艺

  • 准确的衬底温度控制

  • 准确的工艺控制

  • 成熟的300mm单晶圆失效分析工艺


特征

为化合物半导体、光电子和光子学应用提供了更为灵活的工艺,PlasmaPro 800 可提供:

大型电极 - 低成本

刻蚀终点监测 - 可靠性和可维护性俱佳

通过激光干涉仪与/或发射光谱进行终点监测 - 增强刻蚀控制

可选择带有4-、8-或12-条气路的气柜 - 可提供灵活的工艺和工艺气体,可以与主机分离,放置在远端服务区

近距离耦合涡轮泵 - 提供优越的泵送速度加快气体的流动速度

数据记录 - 追溯腔室的历史状态以及工艺条件

液体冷却和/或电加热电极 - 出色的电极温度控制和稳定性


应用

  • 使用我们的具有特殊配置的失效分析设备进行干法刻蚀解剖工艺 —— 具有RIE和 PE两种模式
  • RIE/PE工艺涵盖了从封装好的芯片和裸芯片刻蚀到整片300mm晶圆刻蚀
  • 高质量沉积的PECVD SiNx和SiO2 ,适用于光子学、介电层钝化和诸多其它领域
  • SiO2,SiNx和石英刻蚀
  • 金属和聚酰亚胺有机物刻蚀
  • 用于高亮度LED生产的钝化沉积
  • III-V族刻蚀工艺

 


关键词:气相沉积系统
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