同惠 TH513 半导体C-V特性分析仪
名称：物性分析测试仪器
品牌：同惠
型号：TH513
简介：一体化设计：LCR + 栅极电压 VGS + 漏极电压 VDS + 通道切换 + 上位机软件栅极电压 VGS：0 - ±40V漏极电压 VDS：0 - ±200V/±1500V/±3000V单管器件 (点测)、模组器件 (列表扫描)、曲线扫...
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- 产品介绍
一体化设计：LCR + 栅极电压 VGS + 漏极电压 VDS + 通道切换 + 上位机软件
栅极电压 VGS：0 - ±40V
漏极电压 VDS：0 - ±200V/±1500V/±3000V
单管器件 (点测)、模组器件 (列表扫描)、曲线扫描 (选件) 三种测试方式
四寄生参数 (Ciss、Coss、Crss、Rg 或 Cies、Coes、Cres、Rg) 同屏一键测量及显示
标配 2 通道，可扩展至 6 通道，可测单管、多芯或模组器件 (TH513 仅 1 通道)
CV 曲线扫描、Ciss-Rg 曲线扫描
电容快速充电技术，实现快速测试
接触检查 Cont
通断测试 OP_SH
自动延时设置
Crss Plus 功能：解决高频下 Crss 负值问题
高压击穿保护：DS 瞬间短路，保护仪器
Interlock 安全锁功能：增加高压防护墙 (仅 TH513)
Cs-V 功能：二极管结电容 CV 特性测试分析
等效模式转换功能，可选 Cs 或 Cp 模式
10 档分选
标配接口
RS232、USB HOST、USB DEVICE、LAN、HANDLER
物理参数
体积 (mm)：430 (W)×177 (H)×405 (D)
净重：约 16 kg
应用
半导体元件 / 功率元件：二极管、三极管、MOSFET、IGBT、晶闸管、集成电路、光电子芯片等寄生电容测试、C-V 特性分析
半导体材料：晶圆、C-V 特性分析
液晶材料：弹性常数分析
| 产品型号 | TH513 |
|---|---|
| 通道数 | 1 |
| 显示 | 10.1 英寸电容触摸屏，16:9，1280×RGB×800 |
| 测量参数 | Ciss、Coss、Crss、Rg，四参数任意选择 |
| 测试频率范围 | 1kHz-2MHz |
| 测试频率精度 | 0.01% |
| 测试频率分辨率 | 10mHz/100mHz/1Hz/10Hz 分段 |
| 测试电平电压范围 | 5mVrms-1Vrms |
| 测试电平准确度 | ±(10%× 设定值 + 2mV) |
| 测试电平分辨率 | 1mVrms |
| VGS 电压范围 | 0 - ±40V |
| VGS 电压准确度 | 1%× 设定电压 + 8mV |
| VGS 电压分辨率 | 1mV/10mV 分段 |
| VDS 电压范围 | 0 - ±3000V |
| VDS 电压准确度 | 1%× 设定电压 + 100mV |
| 输出阻抗 | 100Ω，±2%@1kHz |
| 数学运算 | Δ、Δ% |
| 校准功能 | 开路、短路、负载、夹具校准，1-32 次测量平均 |
| AD 转换时间 | 快速 +/ 快速 / 中速 / 慢速可选 |
| 最高准确度 | 0.5% |
| Ciss/Coss/Crss 量程 | 0.00001pF - 9.99999F |
| Rg 量程 | 0.001mΩ - 99.9999MΩ |
| 列表扫描 | 50 点，参数自由设置 |
| 图形扫描 | 最多 1001 点，多曲线同屏 |
| 比较器 | 10Bin，PASS/FAIL |
| 存储 | 内部 100M，外置 USB |
| 接口 | USB HOST/DEVICE、LAN、HANDLER、RS232C、RS485、GPIB |
| 开机预热时间 | 60 分钟 |
| 输入电压 | 100-120VAC/198-242VAC，47-63Hz |
| 供电功率 | ≥130VA |
| 尺寸 (mm) | 430×177×405 |
| 重量 | 16kg |
标配附件
电源线一根
TH26063B 测试夹具（仅 TH511、TH512）
TH26063C 测试夹具（仅 TH511、TH512）
TH26063D 连接电缆（仅 TH511、TH512）
TH26063G 测试延长线（仅 TH511、TH512）
TH26071C USB 转 RS232 通讯线缆
TH513-1 测试夹具（仅 TH513）
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