捷欧路JEOL JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜
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简介：捷欧路JEOL JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜采用新开发的超高分辨率GBSH模式，达到了世界最高水准的分辨率。浸没式肖特基Plus电子枪，将最大探针电流从200nA提高到了500nA。电子枪和低像差聚光镜的优化组合，实...
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- 产品介绍
捷欧路JEOL JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜采用新开发的超高分辨率GBSH模式，达到了世界最高水准的分辨率。浸没式肖特基Plus电子枪，将最大探针电流从200nA提高到了500nA。电子枪和低像差聚光镜的优化组合，实现了更高的亮度，能有效采集电子枪中发射的电子，即使在低加速电压下也能获得几pA～数10 nA 探针电流，保持最小的物镜光阑就可以进行纳米尺寸的高分辨率观察、快速元素面分布及EBSD分析。
捷欧路JEOL JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜配有四种检测器：高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同，二次电子和背散射电子的数量会改变，因此可以选择电子的能量，USD检测被过滤器弹回的低能量电子，BED通过检测低角度的背散射电子，能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。
| 分辨率 |
0.7 nm(15 kV)、0.7 nm(1 kV) 分析模式：3.0 nm (5kV、WD10mm、5nA) |
| 倍率 | × 25 ～ × 1,000,000 |
| 加速电压 | 0.01kV ～ 30kV |
| 束流 | 数pA～500nA |
| 自动光阑角最佳控制透镜 | 内置 |
| 检测器 |
高位检测器(UED) 低位检测器(LED) |
| 能量过滤器 | UED过滤器电压可变功能内置 |
| Gentle Beam模式 | 内置 |
| 样品台 | 全对中测角样品台、5轴马达驱动 |
| 样品移动范围 | X:70mm, Y:50mm Z: 2mm to 25mm 倾斜－5 ～ ＋70° 旋转360° |
应用实例
捷欧路JEOL JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜标配了GBSH模式。下图是高定向热解石墨(HOPG)解理面的二次电子像，到达样品时的能量为1keV，左图中样品偏压为-2kV，右图中样品偏压为-5kV。 可以看出利用GBSH(样品偏压-5 kV)模式观察，HOPG的微细结构更加清晰，达到的分辨率更高。
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