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捷欧路JEOL JSM-7200F 热场发射扫描电子显微镜

产品简介:

捷欧路JEOL JSM-7200F 热场发射扫描电子显微镜应用了日本电子旗舰机-JSM-7800F Prime采用的浸没式肖特基电子枪技术,标配TTLS系统(Through-The-Lens System),无论是在高/低加速电压下,空间分辨率都比传统机型有了很大的提升。此外,保证300nA的最大束流,能兼顾...

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详细介绍
捷欧路JEOL JSM-7200F 热场发射扫描电子显微镜应用了日本电子旗舰机-JSM-7800F Prime采用的浸没式肖特基电子枪技术,标配TTLS系统(Through-The-Lens System),无论是在高/低加速电压下,空间分辨率都比传统机型有了很大的提升。此外,保证300nA的最大束流,能兼顾高分辨率观察和高通量分析,具有充实的自动功能和易用性,是新一代的多功能场发射扫描电镜。
捷欧路JEOL JSM-7200F 热场发射扫描电子显微镜主要特点有:应用了浸没式肖特基电子枪技术的电子光学系统;利用GB(Gentle Beam 模式)和各种检测器在低加速电压下能进行高分辨观察和选择信号的TTLS系统(Through-The-Lens System);电磁场叠加的混合式物镜。
捷欧路JEOL JSM-7200F 热场发射扫描电子显微镜的浸没式肖特基场发射电子枪为日本电子的专利技术,通过对电子枪和低像差聚光镜进行优化,能有效利用从电子枪中发射的电子,即使电子束流很大也能获得很细的束斑。因而可以实现高通量分析(EDS、WDS面分析、EBSD分析等)。TTLS(through-the-lens系统)是利用GB(Gentle Beam 模式)在低加速电压下能进行高分辨率观察和信号选择的系统。 利用GB(Gentle Beam 模式)通过给样品加以偏压,对入射电子有减速、对样品中发射出的电子有加速作用,即使在低加速电压(入射电压)下,也能获得信噪比良好的高分辨率图像。 
此外,利用安装在TTLS的能量过滤器过滤电压,可以调节二次电子的检测量。这样在极低加速电压的条件下,用高位检测器(UED)就可以只获取来自样品浅表面的大角度背散射电子。因过滤电压用UED没有检测出的低能量电子,可以用高位二次电子检测器(USD,选配件)检测出来,因此JSM-7200F能同时获取二次电子像和背散射电子像。
捷欧路JEOL JSM-7200F 热场发射扫描电子显微镜的物镜采用了本公司新开发的混合式透镜。 
这种混合式透镜是组合了磁透镜和静电透镜的电磁场叠加型物镜,比传统的out-lens像差小,能获得更高的空间分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性,所以可以观察和分析磁性材料样品。
捷欧路JEOL JSM-7200F 热场发射扫描电子显微镜图片
分辨率 JSM-7200F
 
JSM-7200FLV
 
1.0 nm(20kV),1.6 nm(1kV) 1.0 nm(20kV),1.6 nm(1kV),1.8nm (30kV,  LV )
放大倍率 ×10~×1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30~×3,000,000(1280 x 960pixels display);
加速电压 0.01kV~30kV
束流   1pA~300nA
自动光阑角最佳控制透镜ACL 内置
大景深模式 内置
检测器 高位检测器(UED)、低位检测器(LED)
样品台 5轴马达驱动样品台
样品移动范围 X:70mm  Y:50mm  Z:2mm~41mm 倾斜-5~+70°  旋转360°
低真空范围 - 10pa~300pa
 
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