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Keithley吉时利 数字源表源测量单元(SMU)2600B系列

产品简介:

Keithley吉时利 系统数字源表 ? 源测量单元(SMU)仪器 2600B系列系统数字源表源测量单元(SMU)仪表是业界一流的电流/电压源 与测量解决方案,它是利用吉时利第三代源测量单元(SMU)技术建造的。2600B 系列产品包括单通道和双通道型号,集成了高精密电源、真正电流源...

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详细介绍

Tektronix泰克 数字源表源测量单元(SMU)2600B系列是业界一流的电流/电压源 与测量解决方案,它是利用吉时利第三代源测量单元(SMU)技术建造的。Tektronix泰克 数字源表源测量单元(SMU)2600B系列产品包括单通道和双通道型号,集成了高精密电源、真正电流源、6位半数字多用表(DMM)、任意波形发生器、脉冲发生器以及电子负载等功能——这些功能都在一个高度集成的仪器机箱内。这是一个功能强大的解决方案,大大提高了从台式 I/V特性分析道高度自动化生产测试等各种应用中的测试效率。对于台式应用,Tektronix泰克 数字源表源测量单元(SMU)2600B系列数字源表内置基于Java的测试软件,支持即插即用I/V测试,可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。对于自动化系统应用,2600B系列数字源表的测试脚本处理器(TSP),可以运行仪器内存储的完整测试程序,实现业界最佳的吞吐量。在更大型的多通道应用中,吉时利的TSP-Link技术与TSP协同工作,实现了高度、SMU-per-pin并行测试。由于2600B系列数字源表源测量单元(SMU)仪表具有不需要主机的、完全隔离的通道,因此,可以根据测试应用需求的进展,很容易进行重新配置和重新部署。

Tektronix泰克 数字源表源测量单元(SMU)2600B系列是业界标准电流-电压源和测量解决方案,适用于高度自动化生产测试应用。 双通道和单通道型号都紧密集成一个精密电源、真正电流源、数字万用表和具有脉冲生成功能的电子负载。 另外,TSP® 技术可运行完整测试程序,适用于自动化系统应用,TSP-链路®技术允许菊花式链接最多 64 条通道,适用于大容量并行测试。
 

完整的生产测试,无需牺牲空间

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满足您的所有生产测试需求,在同一空间内有两条完全隔离的宽动态源和测量通道。 每条 40 W 通道提供 6½ 位精确分辨率源,在小于 100 µs 脉冲宽度和设定值的 0.1% 范围内,测量 10 A 到 0.1 fA 和 200 V 到 100 nV。

特点

  • 在同一空间内可有 2 条通道
  • 最宽的电压和电流动态范围
  • 高度准确的 100 µs 脉冲可扩展直流生产测试能力

嵌入式脚本提供无与伦比的生产吞吐量

缩略图

测试脚本处理器 (TSP®) 技术可在 SMU 仪器内嵌入和执行完整测试程序,提供业界最佳性能。

特点

  • 消除与 PC 之间耗时的总线通信
  • 高级数据处理和流量控制
  • 通用型探头/处理程序控制

系统性能,无主机

缩略图

TSP-Link® 技术支持扩展多达 64 条通道,支持高速、SMU-per-pin 并行测试(而不使用主机)。 <500 ns 时所有通道同时独立受控。

特点

  • 支持 <500 ns 通道间同步
  • 可达 32 条或 64 条独立 SMU 通道
  • 随着测试要求变化轻松重新配置

适合生产的最佳低电流性能

缩略图

2635B 和 2636B SMU 在最低 100 pA 范围内提供 0.1 fA、10-16 分辨率,减少超低电平样本检定烦恼,确保生产成功。

特点

  • 在最低电流范围内稳定时间快 7 倍
  • 具有市面上的最佳低电流分辨率
  • 直接三芯同轴连接简化了设置

型号 通道 最大电流源/量程 最大电压源/量程 测量分辨率(电流/电压) 电源
2601B 1 10A 40V 100fA / 100nV 200 W
2611B 1 10A 200V 100fA / 100nV 200 W
2604B 2 10A 40V 100fA / 100nV 200 W
2614B 2 10A 200V 100fA / 100nV 200 W
2612B 2 10A 200V 100fA / 100nV 200 W
2602B 2 10A 40V 100fA / 100nV 200 W
2635B 1 10A 200V 0.1fA / 100nV 200 W
2634B 2 10A 200V 1fA / 100nV 200 W
2636B 2 10A 200V 0.1fA / 100nV 200 W

 

Tektronix泰克 数字源表源测量单元(SMU)2600B系列是唯一内置基于Java测试软件的源测量单元(SMU)仪表, 支持真正的即插即用I/V特性分析,可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。这个独特功能提高了研发、教育和QA/FA等各种应用的测试效率。只需通过附送的 LAN电缆,将2600B数字源表连接至互联网,打开浏览器,输入2600B的IP低至,即可开始测试。测试结果可以下载之电子数据表(如Excel),供进一步的分析和格式化,或者导入其他文档或演示文稿。

采用TSP技术,提供无与伦比的吞吐量,适合自动测试
对于需要最高自动化和吞吐量级别的测试应用来说,2600B数字源表的TSP技术提供了业界最佳的性能。TSP技术远远超越传统的测试命令序列……它完全嵌入,然后,在源测量单元(SMU)仪器内部执行完整的测试程序。这实际上避免了所 有耗时的总线-PC控制器之间的通信,因此,大幅缩短整个测试时间。

 

TSP技术将执行来自2600B系列数字源表内非易失性存储的完整测试程序。
 

通过TSP-Link技术,实现SMU-Per-Pin并行测试

TSP-Link是通道扩展总线,支持多 个2600B系列数字源表互连,成为一个单 一、严格同步的多通道系统。2600B的 TSP-Link技术与其TSP技术协同工作,支 持高速、SMU-per-pin并行测试。与大型 自动测试设备系统等其他高速解决方案 不同的是,2600B在无需主机成本或负担 情况下,实现了并行测试性能。基于TSP -Link技术的系统,还支持出众的灵活性, 可以根据测试需求的变化,迅速而容易 地对系统进行重新配置。

在TSP-Link系统中,所有通道的同步都控制在 500ns以内。
 

2400型软件仿真

2600B系列数字源表,与为吉时利2400 型数字源表源测量单元(SMU)仪表开发的测试代码兼容。这使得基于2400型数字源 表的测试系统更容易地升级至2600B系列, 并使测试速度提高高达80%。此外,它还提供了从SCPI编程转到吉时利TSP技术的过渡路径,实施后,可以进一步缩短测试时间。
为了全面支持遗留的测试系统,在这个模式下,还完全支持2400型源存储清单测试序列。
 

第三代SMU设计,确保实现更快的测试时间

在早期2600系列仪器成熟的架构基础 上,2600B系列最新的源测量单元(SMU) 仪表设计从几个方面提高了测试速度。例 如,早期的设计采用的是并联电流量程调 节结构,而2600 B系列采用了已申请专利 的串联量程调节结构,这种结构具有更快 更平滑的量程变换过程和稳定速度更快的 输出。

SMU-Per-Pin并行测试采用TSP与TSP-Link技术,提高测试吞吐量,并降低测试成本。

2600B系列数字源表源测量单元 (SMU)仪表设计支持对各种负载使用 两种操作模式。在普通模式下,源测 量单元(SMU)仪表为最大吞吐量提供 高带宽性能。在高电容模式下,源测 量单元(SMU)仪表使用较慢的带宽, 为较高电容负载提供鲁棒的性能。

简化半导体元件测试、验证与分析

可选配的ACS Basic版本软件实现了客户效率的最大化,使客户可以在开发、质量认证或故障分析中,对封装器件进行特性分析。主要特性包括:

  • 内容丰富、易于访问的测试库
  • 脚本编辑器,实现现有测试的快速定制
  • 数据工具,便于迅速比较测试结果
  • 公式工具,便于分析俘获的曲线,并提供多种数据函数。

欲了解有关ACS Basic版本软件的更多信息,参见ACS Basic版本数据表。

强大的软件工具

除了基于Java的嵌入式即插即用软 件以及可选配的ACS Basic版本软件,免 费Test Script Builder软件工具,可以 帮助用户创建、修改、调试和存储TSP测 试脚本。图1给出2600B系列数字源表软 件工具的主要特性。

2600B系列产品3个最新型号的双通道 台式数字源表,提供业界最佳的价值 和性能

如果想调试设计问题,首先必须知道存在问题。每个设计工程师都要用大量的时间查找电路中的问题,如果没有合适的调试工具,这项任务耗时长、非常麻烦。

为了满足那些不需要一流系统级自 动化能力的应用需求,吉时利对2600B系 列数字源表进行了扩展,推出3中最新的 高性价比台式型号产品——2604B、2614B和 2634B。这些型号产品性能分别与2602B、 2612B和2636B相似,但它们不包括TSP Link、接触检查以及数字I/O能力。

完整的自动化系统解决方案

吉时利S500综合测试系统是基于仪 器的、可高度配置的系统,适合器件、 晶圆或晶圆盒的半导体特性分析。S500 综合测试系统基于已被证明的2600系列 系统数字源表源测量单元(SMU),提供 创新的测量特性与系统灵活性,可以根据需求进行升级。其独特的测量能力, 再加上强大而灵活的自动特性分析套 件(ACS)软件,为客户提供全面的应用 范围和特性,这是市场上竞争产品所不具备的。

表1 2600B软件工具

特征/功能 ACS Basic版本 基于Java即插即用软件 Test Script Builder (TSB)
说明 半导体特性分析软件, 用于元件测试、验证 与分析 迅速启动的、基于Java即插即用软件工具,支持快速和容易的I-V测试,主要用于台式和实验室用户 为TSP仪器定制的脚本编写工具
支持的硬件 2400系列、2600B系列、4200-SCS 2600B系列 2600B系列,3700系列
支持的总线 GPIB, LAN/LXI LAN / LXI GPIB, RS-232,LAN/LXI, USB
功能 基于向导的直觉图形用户接口(GUI),丰富的测试测试库和曲线跟踪能力 直线/对数扫描、脉冲、自定义扫描、单点源测量注意:可使用2600B的新API实现精确定时和通道同步 总体灵活的自定义脚本,功能齐全的调试器
数据管理 公式工具,包括多种数学函数 .csv文件导出 用户定义
安装 选购 不需要。内嵌在仪表中 免费下载或CD提供,安装在PC上

当您需要对封装器件数据进行快速采集时,通过 ACS Basic版本软件基于相当的用户界面,很容易 发现和运行期望的测试,就像常见的 FET曲线跟 踪测试一样。

ACS Basic版本软件具有灵活的软件体系结构,允许为 系统配置多种控制器与测试夹具,并可以根据应用需要, 配置所需的数字源表数量。

典型应用

各种器件的I-V功能测试和特征分析,包括:

  • 分立和无源元件
    – 两抽头器件——传感器、磁盘驱动器头、金属 氧化物可变电阻(MOV)、二极管、齐纳二极 管、电容、热敏电阻
    – 三抽头器件——小信号双极结型晶体管(BJT)场效应晶体管(FET),等等
  • 简单IC器件——光学器件、驱动器、开关、传感 器、转换器、稳压器
  • 集成器件——小规模集成(SSI)和大规模集成(LSI) – 模拟IC
    – 射频集成电路(RFIC)
    – 专用集成电路(ASIC)
    – 片上系统(SOC)器件
  • 光电器件,例如发光二极管(LED)、激光二极管高亮度LED(HBLED)、垂直腔面发射激光器 (VCSEL)、显示器
  • 圆片级可靠性
    – NBTI、TDDB、HCI、电迁移
  • 太阳能电池
  • 电池
  • 更多…

2604B/2614B型仪表的背板
(单通道2601B, 2611B, 2635B没有给出)。

2636B型仪表的背板

在第一和第三象限,2600B系列仪器用作信号源,向负载提供 电源。在第二和第四象限,2600B系列仪器用作信号宿,内部 消耗功率。

2601B、2602B和2604B的I-V测试功能

2611B、2612B和2614B的I-V 测试功能

2634B、2635B和2636B的I-V 测试功能


 


关键词:数字源表
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