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艾克赛普光伏芯片扩散制程上下货及检测系统 Model 3775 主要特色: 低破片率 高产量 机器人传送取放 表面检查:选配 上货载具:石英晶舟 下货载具:Manz盒 / Cassette(选项) 通常用于芯片磷扩散的炉管制程。在扩散制程中致茂可提供客户使用短版的晶舟, 或长版晶舟来...
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