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捷欧路JEOL JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜

产品简介:

捷欧路JEOL JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜配备了新开发的超级混合式物镜(SHL),在保持极高的可操作性的同时,实现了低加速电压下的高分辨率,电子源采用浸没式(in-lens)肖特基场发射电子枪,因而能以大束流电流进行稳定的分析。捷欧路JEOL JSM-7800F 热场发射...

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详细介绍
捷欧路JEOL JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜配备了新开发的超级混合式物镜(SHL),在保持极高的可操作性的同时,实现了低加速电压下的高分辨率,电子源采用浸没式(in-lens)肖特基场发射电子枪,因而能以大束流电流进行稳定的分析。捷欧路JEOL JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜的物镜采用的是静电场和静磁场叠加的超级混合式物镜(SHL),由于减少了色差及球差,极大地提高了低加速电压下的分辨率。此外,SHL不会对样品形成磁场影响,因此观察磁性材料的样品和进行EBSD测试可以不受制约。能量过滤器位于高位检测器 (UED)的正下方,可以选择能量。即使在低加速电压下,也能够精确地选择二次电子和背散射电子,因而可以通过低加速电压下的背散射电子像观察样品的浅表面。给样品加以偏压(GB),对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。即使入射电子束到达样品时的能量很低,也可以获得高分辨率、高信噪比的图像。如果利用能施加更高偏压的GB模式,用几十电子伏能量的入射电子束,就可以进行更高分辨率的观察。
捷欧路JEOL JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜配有四种检测器:高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同,二次电子和背散射电子的数量会改变,因此可以选择电子的能量,USD检测被过滤器弹回的低能量电子,BED通过检测低角度的背散射电子,能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。
捷欧路JEOL JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜图片
分辨率 0.8 nm (15 kV)、1.2 nm (1 kV)
分析模式:3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm)
倍率 × 25 ~ × 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30~×3,000,000(1280 x 960 pixels display);
加速电压 0.01kV ~ 30kV
束流 几pA~200nA
自动光阑角最佳控制透镜 内置
检测器 高位检测器(UED)
低位检测器(LED)
能量过滤器 UED过滤器电压可变功能内置
Gentle Beam模式 内置
样品台 全对中测角样品台、5轴马达驱动
X:70mm  Y:50mm  Z:2mm~25mm 倾斜-5~+70° 旋转360°

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