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捷欧路JEOL JSM-7610F 热场发射扫描电子显微镜是一款半浸没式（semi-in-lens）高分辨率场发射扫描电镜，照明系统采用High Power Optics（高性能电子光学系统），可以进行高分辨率、高精度的快速元素分析。配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束），可以用几百电子伏的入射电子束观察样品的浅表面。半浸没式（semi-in-lens）物镜在低加速电压下也能将电子束聚焦得很细；浸没式（in-lens）肖特基场发射电子枪寿命长，能获得稳定的电流，这两者的结合既兼顾了高分辨率观察同时也能够进行高空间分辨率分析。通过给样品加以偏压并照射电子束，能够利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 ，以几百电子伏的入射电子对样品的浅表面进行高分辨率观察，这是迄今为止未能实现的。
电子光学系统采用了高性能电子光学系统。不仅能进行高分辨率观察还可以进行稳定、快速、高精度的元素分析。
| 电子枪 | 肖特基场发射 |
| 物镜 | semi-in-lens物镜 |
| 分辨率 |
1.0 nm @ 15 kV、1.3 nm @ 1 kV 分析模式：3.0 nm @ 15kV WD8mm 5nA |
| 加速电压 | 0.1～30kV |
| 束流 | 几pA ～ 200nA @ 15 kV |
| 自动光阑角最佳控制透镜 | 内置 |
| 倍率 | x 25 ～ x 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×75～×3,000,000(1280 x 960 pixels display); |
| 检测器 |
高位检测器（SED） 低位检测器（LED） |
| 能量过滤器 | r-能量过滤器 |
| Gentle Beam模式 | 内置 |
| 样品交换室 |
内置（具有干燥氮气导入功能） 气锁式、可交换的最大样品：φ100mm×40mmH |
| 样品台 | 5轴马达驱动、全对中测角样品台 |
| 样品移动范围 | X: 70 mm , Y: 50 mm，Z: 1.0～25 mm，倾斜:-5～70°, 旋转: 360° |