 
 捷欧路JEOL IB-19520CCP 截面样品制备装置
 
 名称:其他仪器与工具
 
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 型号:
 
 简介:捷欧路JEOL IB-19520CCP 截面样品制备装置在加工过程中利用液氮冷却,能减轻离子束对样品造成的热损伤。冷却持续时间长、液氮消耗少的构造设计。在装有液氮的情况下,也能将样品快速冷却、恢复到室温,并且可以拆卸。配有传送机构,在隔离空...



| 离子加速电压 | 2 ~ 8 kV | 
| 离子束直径 | 500 um( FWHM) | 
| 研磨速率 | 500 um(两小时的平均值、8 kV、硅材质换算、突出量:100 um) | 
| 样品架冷却达到的温度 | -120 ℃ | 
| 样品冷却持续时间 | 8小时以上 | 
| 制冷箱容量 | 约1升 | 
| 承载样品的最大尺寸 | 11mm(长) × 8mm(宽)× 3mm(厚) | 
| 样品台移动范围 | X轴:±6mm、Y轴:±2.5mm | 
| 固定样品方法 | 夹式 | 
| 样品加工摆角 | ±30° | 
| 加工观察用相机的倍率 | 约20~100倍(6.5寸显示器上) 机械泵: 150 mm(宽) × 427 mm(长) × 230 mm(高)、约16 kg | 
| 空气隔离系统 | 转移舱 | 
| 空气隔离法 | 将舱内设定成氩气气氛,盖上转移舱盖子,将样品封在舱里。 | 
| 操作方法 | 触控屏、6.5寸显示器 | 
| 使用气体 | 氩气(用质量流量控制器控制流量) | 
| 压力测试 | 潘宁真空计 | 
| 主抽真空系统 | 涡轮分子泵 | 
| 辅助抽真空系统 | 机械泵 | 
| 尺寸、重量 | 主机:约670mm (宽) × 720mm(长) × 530mm(高)、约73kg 机械泵:约150 mm (宽) × 430 mm(长) × 230 mm(高)、约16kg | 
| 选配件 | 大型旋转样品架(IB‐11550LSRH)、(IB‐11550LSRH) 基座样品架 (IB‐11560MBSH) 大型样品架(IB-11570LSH) 喷碳样品架(IB-12510CCH) | 
| 电源 | 单相100~120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA | 
| 接地线 | 独立地线(100 Ω以下) | 
| 氩气 | 使用压力:0.15±0.05 MPa(1.0 ~ 2.0 kg/cm²) 纯度99.9999%以上(氩气、气瓶及调压器由客户自备) 金属配管连接口:JISB0203 RC1/4 | 
| 室温 | 15~25 ℃ | 
| 湿度 | 60%以下 | 
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