捷欧路JEOL BS/JEBG/EBG系列 电子枪
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简介：捷欧路JEOL BS/JEBG/EBG系列 电子枪用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。 电子束蒸镀法的特征：用电子束直接照射镀膜材料进行加热，因此热效率高，能蒸发高熔点金属、氧化物、化合物、升华性物质等各种材料。镀...
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- 产品介绍
捷欧路JEOL BS/JEBG/EBG系列 电子枪用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。
电子束蒸镀法的特征：用电子束直接照射镀膜材料进行加热，因此热效率高，能蒸发高熔点金属、氧化物、化合物、升华性物质等各种材料。镀膜材料在水冷铜坩埚内被直接加热，因此不会象电阻加热式或感应加热式那样与坩埚发生反应。可能需要使用坩埚内衬。能迅速控制输出，因而能精确地控制膜厚。与溅射法及CVD法相比，能快速镀膜是一大特征。对形成1µm 以上的厚膜也很有效。
日本电子制造的电子枪/电源的特征如下
氧化物：电子束垂直照射镀膜材料，束斑近似圆形，具有能量密度高的特征。此外，由于标准配备了快速扫描功能，非常适合蒸镀融点高、热传导性低的氧化物及升华性材料，能获得良好的熔痕，大面积的镀膜区域上膜厚分布均匀，重现性好。
金属：坩埚的选择范围很大，能进行多种、大量、高速率的蒸镀，还有用来抑制成膜时温度上升的剥离工艺用电子枪。
合金复合膜：往临近的两个或三个坩埚内充填不同的材料，使用专用的扫描控制器进行双源或三源蒸发，可以形成合金膜和复合膜。
如果您需要捷欧路JEOL BS/JEBG/EBG系列 电子枪及捷欧路品牌仪器、或者其他品牌仪器，均可联络我司销售部门：0731-84284278 84284378。
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