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捷欧路JEOL BS-80011BPG 产生高密度等离子体的内置型等离子体枪

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简介:捷欧路JEOL BS-80011BPG 产生高密度等离子体的内置型等离子体枪是安装在真空室内产生高密度等离子体的等离子体源。利用和真空蒸镀结合的等离子体辅助沉积技术(离子镀),能提高光学薄膜、保护膜、功能膜等的薄膜特性。另外,还可以用作等离...

  • 产品介绍
捷欧路JEOL BS-80011BPG 产生高密度等离子体的内置型等离子体枪是安装在真空室内产生高密度等离子体的等离子体源。利用和真空蒸镀结合的等离子体辅助沉积技术(离子镀),能提高光学薄膜、保护膜、功能膜等的薄膜特性。另外,还可以用作等离子处理如对清洗基板和表面改性也很有效。
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