激光加工微小孔内表面粗糙度的测量
2012-12-19
微小孔的加工一直是机械制造中的一个难点，围绕这个问题研究人员进行了大量研究。目前可用于加工微小孔的方法有：机械加工、激光加工、电火花加工、超声加工、电子束加工及复合加工等[1]。有关各种方法可加工的微小孔直径范围已有较多的报道，而对于加工所得微小孔侧壁粗糙度的研究却比较少。随着科学技术的发展和尖端产品的日益精密化、集成化和微型化，微小孔越来越广泛地应用于汽车、电子、光纤通讯和流体控制等领域，这些应用对微小孔的加工也提出了更高的要求。例如，熔融沉积快速原型机所用喷头是一个高精度微小孔，不仅要求孔径大小准确，而且要求孔壁光滑，有利于熔体挤出以及挤出时微小孔流体阻力的准确控制。本文通过对可用于快速原型机喷头的微小孔侧壁粗糙度进行测量，进一步研究该微小孔粗糙度对熔融沉积快速原型机所用喷头工作质量的影响。本研究结果还可对纺丝、喷墨打印机等其他行业中类似微小孔表面粗糙度的研究提供参考。
(1)使用剖分法可以直接测量激光加工微小孔侧壁的表面粗糙度，该粗糙度宜采用轮廓仪测量。
(2)本实验所得激光加工微小孔侧壁的粗糙度数值约在3.2以内，此数值可以作为一般情况下激光加工相近直径微小孔侧壁所能保证的粗糙度范围。
(3)在采用激光加工微小孔时，孔内绝大多数内表面的粗糙程度均匀，个别地方局部异常的产生原因及出现位置尚需进一步研究。
(4)孔内表面粗糙度最大值的位置难以确定，而最小值未出现在激光打孔时的入口处。
(5)Rｙ的极值基本出现在对应的Rａ处。
来源 电能质量分析仪 http://www.hncsw.net/
对于孔深小于1mm的通孔，可以借助放大镜比较粗略地观察该孔内壁的粗糙度。本研究采用反射式显微镜直接观察孔口内表面情况，作为实测粗糙度试验的对照。对于孔深达4mm的微小孔内壁粗糙度，显然无法用此方法准确测量。由于所测量的微小孔孔径较小，可控光源无法准确地深入孔内，故无法用光干涉原理的方法测量。若采用直接接触式测量方法，虽然探头直径比微小孔内径小，但与其连接的后续部分太大，使得探头无法深入微小孔内部进行直接测量。因此，笔者对微小孔采用剖分法，并用锥度为60°的轮廓仪对剖分后外露的微小孔内表面进行直接测量，以取得准确数据。
微小孔的剖分加工有两种方法：一种是微小孔加工后再剖切，另一种是在紧密结合的两块光滑平板上沿结合缝打孔。由于孔径微小，加工后剖切应属薄板切割。此时为取得较高切割精度应使用激光切割。但由于切割光斑直径较大(如薄板厚为5mm、要求切割速度为1.5m/min时，光斑直径为0.2mm[6])，与所加工的微小孔直径接近，切割后所剩余的微小孔内表面太小，难以进行粗糙度测量；同时，为了保护微小孔内壁在剖切时不受飞溅物的影响，通常在剖切前向微小孔内先注入蜡等物质以保护孔内壁，但此时保护物对微小孔内壁粗糙度测量结果的影响无法评估，因此采用这种剖切加工工艺时需非常慎重，以避免测量的困难。鉴于上述原因，本试验采取第二种微小孔加工方法：加工好两块平板，将它们合紧后沿两板的接触面打骑缝孔，然后把两平板分开，直接测量暴露在外的微小孔内表面。采用这种方法测得的微小孔内壁的粗糙度能准确地反映微小孔内表面的实际加工情况。
结论
(1)使用剖分法可以直接测量激光加工微小孔侧壁的表面粗糙度，该粗糙度宜采用轮廓仪测量。
(2)本实验所得激光加工微小孔侧壁的粗糙度数值约在3.2以内，此数值可以作为一般情况下激光加工相近直径微小孔侧壁所能保证的粗糙度范围。
(3)在采用激光加工微小孔时，孔内绝大多数内表面的粗糙程度均匀，个别地方局部异常的产生原因及出现位置尚需进一步研究。
(4)孔内表面粗糙度最大值的位置难以确定，而最小值未出现在激光打孔时的入口处。
(5)Rｙ的极值基本出现在对应的Rａ处。
来源 电能质量分析仪 http://www.hncsw.net/
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