面向新世纪迅速发展的精密测量技术
2012-11-29
由于受到长期经济增长呆滞的影响，自1998年以来，精密测量仪器的需求一直处于不景气状态。测量仪器是一个深受机床和汽车工业动向影响的行业。以日本的情况为例，1999年日本机床的订货回升，对精密测量仪器的需求从1999年下半年起也随之增长，如卡尺、千分尺等的产量均有所回升。当然，1999年由于产品单件价格下滑等因素，测量仪器行业总的形势仍有两位数字的下降幅度。
进入2000年以后，尽管增长缓慢，但从年初开始，连续9个月精密测量仪器的产值均呈正值增长。其中，传统型号的产品仍占市场的主流，但在三坐标测量机、粗糙度测量仪、圆度测量仪等方面，则对高精度产品需求的增长十分突出。预计，今后对那些面向质量管理的测量辅助系统及装置需求将有更大的增长。
必须注意的是，客户所要求的测量精度已由微米级向纳米级提升，而且这种提升的趋势一年比一年迅猛。如果不能适应此种需求去开发产品，则将难以扩大精密测量仪器的市场规模。当前，尤其是与半导体相关的领域，测量技术不敷应用的状况亟待改善。
据日本有关的调查显示，各测量仪器相关企业2000年的产值(以1998年度为100进行比较计算)将有两位数字的增长，增长幅度可望达到10%～30%。其中，BLOM-LMT公司的产值增长幅度估计将达80%，SOL公司的产值可增长90%。这些企业大都经营国外测量机产品，他们的增长幅度明显高于日本国内企业。日本测量仪器企业中，以东京精密公司的增长幅度最高，估计2000年将增长60%，销售的产品中，70%以上为半导体制造行业所需的测量仪器。
随着非接触、高效率测量机的大量出现，专家们预计，21世纪测量技术的发展方向大致如下：
测量精度由μm级向nm级发展，进一步提高测量分辨率；
由点测量向面测量过渡，提高整体测量精度(即由长度的精密测量扩展至形状的精密测量)；
随着图像处理等新技术的应用，遥感技术在精密测量工程中将得到推广和普及；
随着标准化体制的确立和测量不确定度的数值化，将有效提高测量的可靠性。
总之，测量技术必须实现高精度化，同时也要求实现高速化和高效率化，因此，非接触测量和高效率测量也就必然成为新世纪精密测量技术的重要发展方向。
在通常情况下，作为生产现场使用的测量机具，必须保证在整个测量过程中具有良好的操作性能，而且必须力求节省所占用的空间。如三丰公司开发出一种柔性测量装置QM-Measure，这是专门为在加工现场测量复杂形状而研制的袖珍型三坐标测量机，特点是操作简便，价格低廉。西铁城公司开发出一种电动测微仪用的小型上置式DTM-C系列，实现了生产设备机械小型化和高精度化，进深达7cm，而体积却减小了2/3，非常便于安装在其他生产设备上使用，该装置的最小分辨率为0.1μm。
综观当前精密测量技术的发展状况，有如下一些特点：普遍追求高速、高精度、系统化、网络化；为了便于在线测量，各公司正在大力开发小型化的精密测量装置；为了增强市场竞争能力，生产厂家均在努力加强质量管理，降低生产成本。随着全球IT产业的蓬勃发展，精密测量领域也不断开发出适应IT特点的测量机产品。可以预计，面对新世纪的需求，精密测量技术将进一步集约化，产品结构更为紧凑，操作性能进一步提高，自动化水平也必将提升到新的档次。当然，各厂家高性能产品之间的竞争也必然更加激烈，谁抢先拥有高精尖的测量技术，拥有先进的管理系统，谁就将在竞争中稳操胜券。热像仪 http://www.hncsw.net/
