沈阳真空产业技术创新联盟由中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司、东北大学等24家单位发起，是我国真空行业第一家地区性质的产业联盟。由中国科学院沈阳分院和沈阳市科学技术局的推动和组织。
沈阳真空产业技术创新联盟成员单位覆盖了沈阳地区与真空装备研发、零部件制造、真空技术应用等相关的产学研用单位，以真空技术创新、真空装备研发和产业化、真空技术应用等为主题组建成立。联盟的目标在于促进沈阳地区真空行业的企业、高校、研究单位之间的合作，打造沈阳真空产业的品牌，推动形成较为完整的产业链和规模化的产业集聚效应。
