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未经标定的压力传感器初始误差有哪些?

2015-05-22

压力传感器由于未经标定的系统只能使用典型的灵敏度和偏移值将输出电压转换为压力,测得的压力将有误差,这种未经标定的初始误差由以下几个部分组成:
1、偏移量误差。由于在整个压力传感器量程范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。
2、灵敏度误差,产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数。如果压力传感器灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。
3、线性误差。这是一个对初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于压力传感器硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线。
4、滞后误差:在大多数情形中,滞后误差完全可以忽略不计,因为压力传感器硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。
标定可消除或极大地减小压力传感器的这些误差,而补偿技术通常要求确定系统实际传递函数的参数,而不是简单的使用典型值。电位计、可调电阻以及其他硬件均可在补偿过程中采用,而软件则能更灵活地实现压力传感器这种误差补偿工作。

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